Характеристики и области применения датчиков давления из диффузионного кремния

The датчик давления диффузного кремнияиспользует принцип пьезорезистивного эффекта и применяет интегрированную технологию легирования и диффузии вдоль характерного направления кристалла монокристаллической кремниевой пластины, чтобы создать тензорезистор для формирования моста Уитстона. Используя упругие механические свойства кремниевых материалов и выполняя анизотропную микрообработку одного и того же разрезанного кремниевого материала, создается диффузионный кремниевый датчик, объединяющий силовую чувствительность и обнаружение силово-электрического преобразования. Давление датчика давления диффузионного кремния воздействует непосредственно на диафрагму датчика, которая обычно изготовлена ​​из нержавеющей стали или керамики, заставляя диафрагму производить смещение, пропорциональное давлению среды, при этом значение сопротивления датчика изменяется, а электронная схема обнаруживает это изменение и преобразует выходной сигнал, соответствующий этому давлению. Он имеет множество характеристик и очевидных преимуществ.

① Разнообразный внешний вид и структура.

② Сильная защита от помех.

③ Благодаря конструкции изолирующей диафрагмы из нержавеющей стали 316L коррозионная стойкость намного лучше, чем у нержавеющей стали 301.

④ Микроусилитель, выходной сигнал тока.

⑤ Высокая точность: после многократной сварки нержавеющей стали достигается полностью твердотельная конструкция, которую можно использовать в течение длительного времени в суровых условиях.

⑥ Высококачественные терминалы с хорошей долгосрочной стабильностью.

⑦ Использование импортного диффузионного кремниевого сердечника обеспечивает более точные измерения.

Область применениядатчик давления диффузного кремнияочень широк: от промышленности до профессиональных областей исследований. Общие области применения включают экспериментальное оборудование, такое как авиация и аэрокосмическая промышленность; водолазные, судостроительные и буровые платформы; нефтяная, химическая и металлургическая промышленность; термоэлектрика, металлургия, машиностроение, легкая промышленность; чистая энергетика, водоочистка и автоматизация зданий; научно-исследовательские институты, лабораторная калибровка давления и т. д. Однако из-за характеристик самого датчика диффузного кремния его нельзя использовать для измерения высокотемпературных и низкотемпературных сред.